HBM 上游材料主要包括：

- 溅射靶材：溅射靶材是用于制造 HBM 薄膜的原材料，通常使用金属、合金、氧化物等材料制成。

- 玻璃基板：玻璃基板是 HBM 制造过程中的重要材料，用于承载溅射靶材和 HBM 薄膜。

- 光刻胶：光刻胶是一种用于在玻璃基板上涂覆溅射靶材的材料，可以通过光刻技术精确控制溅射靶材的位置和形状。

- 电子材料：HBM 制造过程中需要使用各种电子材料，如金属线、电容器、电阻器等，用于制造 HBM 器件的电路部分。

- 制造设备：HBM 制造需要使用各种高精度制造设备，如溅射机、光刻机、薄膜沉积设备等。

这些材料和设备的质量和性能对 HBM 的性能和可靠性有着重要的影响。因此，HBM 上游材料的选择和制造工艺的控制非常重要。